在晶圓代工廠及IDM廠於7奈米及更先進製程加速導入極紫外光（EUV）微影技術後，DRAM廠也加入EUV戰局。三星電子宣布量產採用EUV技術的DRAM且出貨超過百萬顆，業界認為SK海力士及美光將會加速評估採用EUV。法人則看好家登（3680）的極紫外光光罩盒（EUV Pod）訂單湧入，今年內產能已供不應求。家登表示已提前擴產並做好異地備援生產，備戰產能到年底。
雖然新冠肺炎疫情恐對半導體產業造成影響，但晶圓代工廠及IDM廠仍加速建置EUV產能。其中，台積電支援EUV的7+奈米已量產，5奈米將在今年進入量產。三星晶圓代工支援EUV的7奈米在去年底量產，預計今年底5奈米將開始接單生產。英特爾支援EUV技術的7奈米預估明年開始量產自家設計的中央處理器（CPU）。
包括三星、SK海力士、美光等三大DRAM廠去年下半年已開始評估採用EUV技術，以縮短DRAM生產時間及提高微影技術精確度。其中，三星的進度領先同業，近期宣布採用EUV技術的第四代10奈米製程（D1a）已成功量產DDR4顆粒，出貨量亦超過百萬顆規模，三星預期明年將採用D1a製程量產DDR5/LPDDR5等新一代DRAM。